Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A first contact region of the bump electrode (12), which is a region that comes into contact with the contact in the first measurement step, and a second contact region of the bump electrode (12) which is a region that comes into contact with the contact in the second measurement step, are configured so that the two regions do not overlap at least partially.
French[fr]
Une première région de contact de l'électrode à bosse (12), qui est une région qui vient en contact avec le contact dans la première étape de mesure, et une seconde région de contact de l'électrode à bosse (12) qui est une région qui vient en contact avec le contact dans la seconde étape de mesure, sont configurées de telle sorte que les deux régions ne se chevauchent pas au moins partiellement.
Japanese[ja]
バンプ電極(12)に当接する金属製の突起からなる接触子を有する検査用回路基板(110)と検査対象物(10)とを押圧させた状態で検査対象物(10)の電気特性を測定する第1測定工程と、第1測定工程後、バンプ電極(12)に当接する金属製の突起からなる接触子を有する検査用回路基板(110)と検査対象物(10)とを押圧させた状態で検査対象物(10)の電気特性を再度測定する第2測定工程とを備える。 第1測定工程において接触子に当接した領域であるバンプ電極(12)の第1当接領域と、第2測定工程において接触子に当接した領域であるバンプ電極(12)の第2当接領域とが、少なくとも一部において重複しないようにする。