Metadata
Author: UN-2
Data
Arabic[ar]
الأساليب الفنية للتحكم في الأيونات وبارامترات معدل الترسيب؛
English[en]
Control techniques for ion beam and deposition rate parameters;
Spanish[es]
Técnicas de control para los parámetros de los haces iónicos y la tasa de deposición;
Russian[ru]
Аппаратура управления пучком ионов и параметрами скорости осаждения;
Chinese[zh]
离子束和沉积率参数的控制技术;