Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Gas filled into the space sandwiched between the cartridge and the substrate is discharged to the outside through the channel when the pressure of the atmosphere in the load lock chamber is reduced.
French[fr]
Un gaz, remplissant l'espace pris en sandwich entre la cartouche et le substrat, est évacué vers l'extérieur par le canal lorsque la pression de l'atmosphère dans la chambre à sas de chargement est réduite.
Japanese[ja]
そのカートリッジとその基板とに挟まれる空間に充填された気体は、そのロードロックチャンバーの内部の雰囲気が減圧されるときに、その流路を通って外部に排気される。