Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Dieser Prozess basiert auf alternativen Verfahren (auf trockener Siliziumätzung basierende Prozesse), die im Vergleich mit den gebräuchlichsten Methoden (feuchte Siliziumätzung) mehrere interessante Eigenschaften mit Hinblick auf Designeinschränkungen, Komplexität, Einheitlichkeit und Herstellbarkeit zeigen.
English[en]
This process is based on alternative techniques (all-dry silicon-etch based process) that in comparison to the most commonly used ones (wet silicon etching) demonstrates several attractive features in terms of related design limitations, complexity, uniformity and manufacturability.
Spanish[es]
Este proceso se basa en técnicas alternativas (procesos basados en el ataque seco de silicio) que, en comparación con los que se utilizan más comúnmente (ataque húmedo de silicio) refleja varios rasgos atractivos en términos de limitaciones de diseño, complejidad, uniformidad y capacidad de fabricación.
French[fr]
Ce processus repose sur des techniques alternatives (processus de gravure à sec de la silicone) qui, comparées aux techniques les plus courantes (gravure humide de la silicone), offrent plusieurs avantages intéressants au niveau notamment des limitations liées à la conception, de la complexité, de l'uniformité et de la facilité de fabrication.
Italian[it]
Questo processo è basato su tecniche alternative (un processo di stampaggio chimico del silicio a freddo) che, rispetto a quelle comunemente usate di stampaggio umido del silicio, dimostra varie caratteristiche interessanti in termini di limiti di progettazione, complessità, uniformità e manifatturazione.