Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The effective dose quantity of the n type impurity in the n shell region (13) is 5.0×1012 cm-2 or less.
French[fr]
La quantité de dose effective des impuretés de type n dans la région (13) de coquille n est d'au plus 5,0×1012 cm-2.
Japanese[ja]
nシェル領域(13)中のn型の不純物の実効ドーズ量は5.0×1012cm-2以下である。