Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
An epitaxial wafer according to an embodiment comprises a wafer and an epitaxial layer on the wafer, and the standard deviation of values obtained by logarithm-converting oxygen precipitate densities in the radial direction is greater than 0 and equal to or less than 0.1.
French[fr]
Selon un mode de réalisation, l'invention concerne une plaquette épitaxique qui comprend une plaquette et une couche épitaxique sur la plaquette, et l'écart-type de valeurs obtenues en convertissant en logarithmes les densités de précipité d'oxygène dans la direction radiale est supérieur à 0 et inférieure ou égal à 0,1.
Korean[ko]
실시 예의 에피텍셜 웨이퍼는, 웨이퍼 및 웨이퍼 위에 에피텍셜층을 포함하고, 반경 방향으로 산소 석출물 밀도를 로그 변환한 값의 표준 편차는 0 보다 크고 0.1 이하이다.