Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention relates to a screw rotor type vacuum pump having a lead angle which continuously changes one screw rotor in three steps of equal interval, unequal interval and equal interval, wherein stable exhaust performance may be kept up to the range of 0.5 Pa from the atmospheric pressure.
French[fr]
L'invention concerne une pompe à vide de type à rotors en forme de vis dont l'angle d'hélice est constamment variable dans l'un des rotors en forme de vis selon trois étapes d'intervalle de pas d'hélice égal, d'intervalle de pas d'hélice inégal et d'intervalle de pas d'hélice égal, les caractéristiques d'échappement stables pouvant être maintenues jusqu'à 0,5 Pa par rapport à la pression atmosphérique.
Korean[ko]
본 발명은 하나의 스크류 로터가 등 간격, 부등 간격, 등 간격의 3단계로 연속적으로 변화되는 리드를 가지는 스크루 로터 타입 진공펌프에 관한 것으로서, 대기압으로부터 0.5 Pa의 영역까지 안정된 배기 성능을 유지할 수 있는 기술에 관한 것이다.