Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
An x-ray spectrometry detector device (1A) comprises an analyzing crystal (20) and a two-dimensional x-ray detector (30), spectrally separates a characteristic x-ray (2) which is radiated from a micro-analysis point (P) with a diameter of 100μm or less in a sample (10) surface by illumination with either x-rays or an electron beam by each wavelength and detects the resulting spectrum.
French[fr]
La présente invention concerne un dispositif détecteur de spectrométrie à rayons X (1A) comprenant un cristal analyseur (20) et un détecteur bidimensionnel à rayons X (30), séparant spectralement un rayon X caractéristique (2) qui est émis à partir d'un point de micro-analyse (P) de diamètre inférieur ou égal à 100 μm sur une surface d'échantillon (10) en l'éclairant soit avec des rayons X soit avec un faisceau d'électrons à chaque longueur d'onde et en détectant le spectre résultant.
Japanese[ja]
X線分光検出装置1Aは、分光結晶20及び二次元X線検出器30を備え、X線若しくは電子線の照射によって試料10表面における直径100μm以下の微小分析点Pから放射された特性X線2を波長毎に分光して検出する。