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Author: WikiMatrix
Data
English[en]
It is also produced from silicon tetrachloride: Si + 3 SiCl4 + 2 H2 → 4 HSiCl3 Trichlorosilane is the basic ingredient used in the production of purified polysilicon.
Spanish[es]
También es producido a partir de tetracloruro de silicio: Si + 3 SiCl4 + 2 H2 → 4 HSiCl3 El triclorosilano es el ingrediente básico utilizado en la producción de polisilicio purificado.