Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The disadvantage of high corrosion rate on the polycrystal silicon due to the conventional fluorine contained composition can be eliminated.
French[fr]
La présente invention concerne une composition qui contient un composé fluoré, un polymère de type polyvinyle-pyrrolidone et un support, et qui permet de supprimer l'inconvénient de la vitesse de corrosion élevée du silicium polycristallin due aux compositions fluorées classiques.