Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Method for manufacturing x-ray planar detector, and tft array substrate for x-ray planar detector
French[fr]
Procédé de fabrication d'un détecteur planar par rayons x, et substrat de réseau de tft destiné à un détecteur planar par rayons x
Japanese[ja]
X線平面検出器の製造方法およびX線平面検出器用TFTアレイ基板