Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Emulating a lithographic projection imaging machine includes determining characteristics of the imaging machine, of a reticle used in the imaging machine, and of layer specific processes.
French[fr]
L'émulation d'une machine d'imagerie par projection lithographique consiste à déterminer les caractéristiques de la machine d'imagerie, du réticule utilisé dans la machine d'imagerie ainsi que des procédés spécifiques de couches.