Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The first beam splitter transmits a portion of light transmitted through the imaging lens, and reflects the rest of the light.
French[fr]
Le premier diviseur de faisceau transmet une partie de la lumière transmise par la lentille d'imagerie, et réfléchit le reste de la lumière.
Korean[ko]
이와 같이, 하나의 결상렌즈를 이용하여 검사기판을 검사함에 따라, 종래의 결상렌즈들 간의 광축 또는 배율 편차에 기인한 검사 정밀도 저하를 방지할 수 있다.