Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Method of planarizing solid surface with gas cluster ion beam and solid surface planarizing apparatus
French[fr]
Procédé de planarisation de surface solide par faisceau ionique à agglomérat gazeux et appareil de planarisation de surface solide
Japanese[ja]
ガスクラスターイオンビームによる固体表面の平坦化方法および固体表面平坦化装置