Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A bias voltage may also be provided to the insulating layer and the bias voltage may be pulsed in phase or out of phase with the pulsing of the inductively coupled plasma source.
French[fr]
Une tension de polarisation peut aussi être appliquée à la couche isolante, cette tension pouvant être pulsée en phase ou de manière déphasée par rapport à la source de plasma couplée inductivement.