Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Further, a metal oxide film is used as part of the gate insulating film, whereby reincorporation of an impurity such as hydrogen or water into the oxide semiconductor is suppressed.
French[fr]
Par ailleurs, un film d'oxyde métallique est utilisé comme partie du film d'isolation de grille, ce qui évite la réincorporation d'une impureté telle que de l'hydrogène ou de l'eau dans l'oxyde semiconducteur.