Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The discharge electrode (45) is cooled so as to form dew on the discharge electrode (45), and a constant voltage is applied to between the discharge electrode (45) and the counter electrode (46).
French[fr]
L'électrode de décharge (45) est refroidie de façon à former de la rosée sur l'électrode de décharge (45), et une tension constante est appliquée entre l'électrode de décharge (45) et la contre-électrode (46).
Japanese[ja]
代表長が0.1μm以下の溝又は穴を有する微細パターンが形成されたウエハ(W)を、水分を含んだ空間において、所定位置に配置された対向電極(46)を挟んで、鋭角状の先端部を有する冷却自在の放電電極(45)の先端部に対して一定間隔で対面するように、ウエハ(W)を配置し、放電電極(45)を冷却して放電電極(45)に結露を生じさせると共に、放電電極(45)と対向電極(46)との間に一定電圧を印加する。