Metadata
Author: EurLex-2
Data
Greek[el]
ενός ή περισσοτέρων μικρομηχανικών στοιχείων αισθητήρα (MEM) κατασκευασμένων με τεχνολογία ημιαγωγών, με μηχανικά στοιχεία διατεταγμένα σε τρισδιάστατες δομές επί ημιαγώγιμου υλικού
English[en]
one or more microelectromechanical sensor elements (MEMS) manufactured with semiconductor technology, with mechanical components arranged in three-dimensional structures on the semiconductor material
Finnish[fi]
vähintään yhden puolijohdeteknologialla valmistetun mikrosähkömekaanisen anturin (MEMS) sekä kolmiulotteisiksi rakenteiksi puolijohdemateriaalille järjestettyjen mekaanisten komponenttien
Croatian[hr]
jednog ili više mikromehaničkih senzorskih elemenata (MEMS) s mehaničkim dijelovima postavljenim u trodimenzionalnim strukturama na poluvodičkom materijalu proizvedenih tehnologijom izrade poluvodiča
Hungarian[hu]
egy vagy több félvezető technológiával gyártott mikro-elektromechanikus érzékelő alkotóelem (MEMS) a félvezető anyagon háromdimenziós szerkezetben elhelyezett mechanikus alkotóelemekkel,
Latvian[lv]
vienu vai vairākus mikroelektromehāniskus spoguļus (MEMS), ar mehāniskiem komponentiem, kas uz pusvadītāja materiāla izkārtoti trīsdimensionālās struktūrās, izgatavoti ar pusvadītāju tehnoloģiju,
Maltese[mt]
sensur wieħed jew aktar mikro-elettromekkaniku (MEMS),b’komponenti mekkaniċi rranġati fi strutturi tridimensjonali fuq il-materjal semikonduttur
Portuguese[pt]
um ou mais elementos de sensor microeletromecânicos (MEMS) fabricados com tecnologia de semicondutores, com componentes mecânicos dispostos em estruturas tridimensionais no material semicondutor,
Slovak[sk]
jedného alebo viacerých mikroelektromechanických snímacích prvkov (MEMS)s mechanickými komponentmi usporiadanými do trojrozmernej štruktúry na polovodičovom materiáli vyrábaných polovodičovou technológiou
Slovenian[sl]
enega ali več mikroelektromehanskih senzorskih elementov (MEMS), z mehanskimi elementi v tridimenzionalnih strukturah na polprevodnem materialu, proizvedenimi s polprevodno tehnologijo,