Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The step of forming the tunnel barrier layer includes a film-forming step and an oxidation step.
French[fr]
L'étape consistant à former la couche de barrière à effet tunnel comprend une étape de formation de pellicule et une étape d'oxydation.
Japanese[ja]
本発明の一実施形態は、磁気抵抗効果素子の製造方法であって、トンネルバリア層を形成する工程を有し、該トンネルバリア層を形成する工程は、基板上に金属膜を成膜する成膜工程と、金属膜を酸化処理する酸化工程とを有する。