Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The thus-configured system of the present invention protects the process chamber from high temperature heat through a simple configuration.
French[fr]
Le système ainsi configuré de la présente invention protège la chambre de traitement d'une chaleur à haute température grâce à une configuration simple.
Korean[ko]
상술한 바와 같이 구성함에 따라 복잡한 구성을 갖추지 않고 프로세스 용기를 고온으로부터 보호할 수 있는 특징을 가지고 있다.