Metadata
Author: patents-wipo
Data
German[de]
Die Einrichtung besteht weiter aus einem Auffänger für den durch die Probe getretenen Elektronenstrahl, einem an den Auffänger für den Elektronenstrahl angeschlossenen ersten Verstärker, einem an das Gitter angeschlossenen zweiten Verstärker, einer an die beiden Verstärker angeschlossenen Auswerteeinrichtung, einer Einrichtung zur Erzeugung einer Ablenkspannung, die mit ihrem Eingang mittelbar oder unmittelbar am Ausgang des zweiten Verstärkers und mit ihrem Ausgang an der Strahlablenkeinrichtung angeschlossen ist.
English[en]
The invention also consists of a collector for the electron beam passing through the sample, a first amplifier connected to the target for the electron beam, a second amplifier connected to the grid, an evaluation device connected to the two amplifiers, a device for producing a deflecting voltage, whose input is indirectly or directly connected to the output of the second amplifier and whose output is connected to the beam deflector device.
French[fr]
Ce dispositif comprend en outre un collecteur pour le faisceau électronique divisé par l'échantillon, un premier amplificateur associé à ce collecteur pour le faisceau électronique, un deuxième amplificateur associé à la grille, un dispositif d'analyse associé aux deux amplificateurs, un dispositif générant une tension de déviation, dont l'entrée est connectée directement ou indirectement à la sortie du deuxième amplificateur et dont la sortie est reliée au déflecteur de faisceau.