Metadata
Author: scielo-abstract
Data
English[en]
The crystal structure was examined with X-Ray Diffraction (XRD) to a 4 mTorr film on a Si3N4 (100) substrate giving a polycrystalline structure with reflections of planes (002), linked to the wurtzite-like structure of AIN.
Spanish[es]
La estructura cristalina fue estudiada con difracción de rayos X (DRX), para la película de 4 mTorr sobre un sustrato de Si3N4 (100), y se encontró una estructura policristalina con reflexiones de los planos (002), asociados a la estructura tipo wurtzita del AIN.