Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention relates to a cleaning device for a mixing vaporizer comprising: a 1st aperture for liquid raw material supply; a 2nd aperture for carrier gas supply; a mixing area for mixed gas generation in which the liquid raw material and carrier gas are mixed; a carrier gas nozzle connected to the 2nd hole to supply the carrier gas into the mixing area; a 3rd aperture for emission of the mixed gas; and a cleaning device for circulating cleaning solution through at least one of said 1st, 2nd or 3rd apertures.
French[fr]
L'invention concerne un dispositif de nettoyage pour un vaporisateur mélangeur, comprenant: une première ouverture destinée à distribuer une matière première liquide; une deuxième ouverture destinée à distribuer un gaz vecteur; une zone de mélange pour générer des gaz mélangés dans lesquels la matière première liquide et le gaz vecteur sont mélangés; un ajutage de gaz vecteur relié à la deuxième ouverture pour distribuer le gaz vecteur dans la zone de mélange; une troisième ouverture pour émettre le gaz mélangé: et un dispositif de nettoyage pour faire circuler la solution de nettoyage par au moins une des trois ouvertures susmentionnées.
Korean[ko]
원료액이 유입되는 제1구멍과, 캐리어 가스가 유입되는 제2구멍과, 상기 원료액과 상기 캐리어 가스를 혼합하여 혼합 가스를 생성하는 혼합 공간과, 상기 제2구멍과 연결되어 상기 혼합 공간에 상기 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 노즐과, 상기 혼합 가스를 배출하는 제3구멍을 구비하는 혼합 기화기에 대하여, 상기 제1구멍, 상기 제2구멍, 상기 제3구멍 중 적어도 하나를 통하여 세정액을 순환시킴으로써 상기 혼합 기화기를 세정하는 세정 장치를 제공한다.