Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A detoxifying agent and a detoxifying method are provided which have a high detoxifying ability in a detoxifying treatment of a discharge gas containing a volatile inorganic hydride and generating in a semiconductor production step.
French[fr]
La présente invention a pour objet un agent détoxifiant et un procédé de détoxication qui ont une grande capacité détoxifiante dans un traitement détoxifiant d'un gaz de refoulement contenant un hydrure inorganique volatil et produit lors d'une étape de production de semi-conducteur.
Japanese[ja]
本発明は、半導体製造工程で発生する揮発性無機水素化物含有排ガスの除害処理において、高い除害能力を示す除害剤と除害方法を提供することを目的とする。 固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩、固体金属塩基性炭酸塩又はこれら化合物の混合物に、ゼオライト類を添加することで、揮発性無機水素化物含有排ガスに対して優れた除害性能を有する。