Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention relates to a method and an apparatus for measuring the physical properties of a deposited thin film.
French[fr]
La présente invention concerne un procédé et un appareil permettant de mesurer les propriétés physiques d'un film mince déposé.
Korean[ko]
본 발명은 증착 박막의 물리적 특성 측정방법 및 장치에 관한 것이다.