Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Method for detecting transfer shift of transfer mechanism and semiconductor processing equipment
French[fr]
Procede de detection du decalage de transfert d'un mecanisme de transfert et equipement de traitement de semi-conducteur
Japanese[ja]
搬送機構の搬送ズレを割り出す方法及び半導体処理装置