Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The aforementioned thinning step is, for example, an etching step that thins the aforementioned first electrode layer by means of etching.
French[fr]
Par exemple, ladite étape d'amincissement consiste en une étape de gravure dans laquelle ladite première couche d'électrode est amincie par gravure.
Japanese[ja]
基板内蔵用キャパシタの製造方法は、第1電極層の上に誘電体層を形成する誘電体層形成工程と、前記誘電体層を介して前記第1電極層に対向する第2電極層を形成する第2電極層形成工程と、前記誘電体層形成工程後において前記第1電極層を薄くする薄化工程とを含む。