Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Provided is a method for producing a functional substrate and that achieves sufficiently high production characteristics.
French[fr]
Cette invention concerne un procédé de production d'un substrat fonctionnel offrant des caractéristiques de production suffisamment élevées.
Japanese[ja]
本発明の機能性基板の製造方法の切断工程において、レーザ光20によって徐冷点以下の温度で中間層17を局所的に加熱し、内部残留引張応力CTよりも小さい引張応力、又は圧縮応力を中間層17に局所的に発生させ、内部残留引張応力によるクラック30の伸展速度を制御する。