Metadata
Author: EurLex-2
Data
German[de]
d) "speicherprogrammierbare" Ausrüstung für plasmaunterstützte chemische Abscheidung (PECVD) wie folgt:
English[en]
d. "Stored programme controlled" plasma enhanced CVD equipment, as follows:
French[fr]
c. équipements "à commande par programme enregistré" pour l'élimination par des méthodes sèches anisotropiques par plasma, comme suit:
Italian[it]
d. apparecchiature per la deposizione in fase di vapore di elementi chimici (CVD) potenziato a plasma con "controllo a programma registrato", come segue:
Dutch[nl]
d. "met opgeslagen programma bestuurde" apparatuur voor het met plasma versterkt chemisch neerslaan uit de dampfase (PECVD), als hieronder:
Swedish[sv]
d) "Datorstyrd" utrustning för plasmaförstärkt CVD enligt följande: