Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The rinsing machine swinging spraying device and the method enable both the central position and the edge position of the wafer to have good rinsing effects.
French[fr]
Le dispositif de pulvérisation pivotant de machine de rinçage et le procédé permettent à la position centrale ainsi qu'à la position de bord de la plaquette d'avoir de bons effets de rinçage.
Chinese[zh]
所述喷淋装置及方法使晶片中心位置和边缘位置都有很好的清洗效果。