Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In the X-ray diffraction profile of the piezoelectric thin film (3), the lattice plane spacing calculated from the diffraction peak of the (001) plane is not more than 3.975Å.
French[fr]
Dans un profil de diffraction de rayons X de ladite couche mince piézoélectrique (3), un pas de réseau calculé à partir du pic de diffraction d'un plan (001), est inférieur ou égal à 3,975Å.
Japanese[ja]
975Å以下であり、前記圧電薄膜3のX線回折プロファイルにおける、(101)面の回折ピーク強度I101の、(001)面の回折ピーク強度I001に対する比I101/I001が、log10(I101/I001)≦-2. 10を満たしている、圧電薄膜3。