Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
On a guide rail (2) provided on a mount (1), a plate table (3) and a substrate table (4) are provided so as to travel therealong.
French[fr]
Selon l'invention, sur un rail de guidage (2) disposé sur un montage (1), une table de plaque (3) et une table de substrat (4) sont disposées de façon à se déplacer le long de celui-ci.
Japanese[ja]
架台(1)上に設けたガイドレール(2)上に、版テーブル(3)と基板テーブル(4)を走行可能に設ける。