Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
This contact force sensor (5) is fabricated by machining of a silicon semiconductor material.
French[fr]
Ce capteur de force de contact (5) est fabriqué en usinant un matériau semi-conducteur en silicium.
Japanese[ja]
接触力センサ5は、ベース部611と、このベース部611と直交する方向に形成された接触力伝達部612とを有するセンサ構成体6を備えている。