Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In the present invention, a waste target is recycled by spraying high-purity powder thereto.
French[fr]
Dans la présente invention, une cible déchet est recyclée en y pulvérisant une poudre de pureté élevée.
Korean[ko]
본 발명에서는 폐타겟에 고순도 분말을 용사하여 재활용하므로, 고밀도, 고순도의 미세한 결정립을 가진 타겟을 제공할 뿐만 아니라, 제조시간 및 비용 단축에 효과적이다.