Metadata
Author: EurLex-2
Data
Bulgarian[bg]
В рамките на LENS успешно бе доказана приложимостта на традиционната имерсионна литография за поне още два технологични размера чрез използване на двойна експозиция или техники за удвояване на стъпката, „което ще позволи своевременното и икономически ефективно разработване на следващите поколения полупроводникови прибори“.
Czech[cs]
V rámci projektu LENS byla úspěšně prokázána použitelnost stávající technologie ponorné litografie pro nejméně dva další technologické uzly s využitím technologie dvojí expozice nebo technologie zdvojení roztečí, „což umožní včasný a ekonomicky efektivní rozvoj dalších generací polovodičových zařízení“.
Danish[da]
Det er lykkedes LENS at demonstrere, at den eksisterende immersionslitografiske teknologi kan anvendes til mindst to teknologi-nodes mere ved hjælp af dobbelt eksponering eller "pitch doubling"-teknikker, som "dermed inden for rimelig tid muliggør udviklingen af næste generation af halvlederenheder".
German[de]
LENS hat erfolgreich nachgewiesen, dass die gängige Immersionslithografie mittels Doppelbelichtungs- oder Pitch-Verdopplungsverfahren für mindestens zwei weitere Technologieknoten anwendbar ist, und „damit rechtzeitig die wirtschaftlich effiziente Entwicklung der nächsten Generationen von Halbleiterelementen möglich gemacht“.
Greek[el]
Το έργο LENS κατέδειξε επιτυχώς τη δυνατότητα εφαρμογής της υφιστάμενης τεχνολογίας της λιθογραφίας με εμβάπτιση -τουλάχιστον για τους δύο επόμενους τεχνολογικούς κόμβους με χρήση της διπλής έκθεσης ή τεχνικών διπλασιασμού του βήματος «ώστε με αυτόν τον τρόπο να καθίσταται δυνατή η έγκαιρη και οικονομικά αποδοτική ανάπτυξη των διατάξεων ημιαγωγών επόμενης γενιάς».
English[en]
LENS successfully demonstrated the applicability of the incumbent immersion lithography technology for at least two more technology nodes using dual exposure or pitch doubling techniques, ‘thereby allowing the timely and economically efficient development of the next generations of semiconductor devices’.
Spanish[es]
LENS demostró con éxito el carácter aplicable de la tecnología de la litografía de inmersión para al menos dos nódulos tecnológicos más, mediante el empleo de la exposición dual o de técnicas de pitch doubling (duplicación de paso), «permitiendo así, el desarrollo eficaz, en términos económicos y de tiempo, de la próxima generación de dispositivos semiconductores».
Estonian[et]
LENS tõestas, et topeltsärituse või sageduse kahekordistamise tehnoloogia abil saab olemasolevat märglitograafiatehnoloogiat kasutada senisega võrreldes veel vähemalt kahes tehnoloogiasõlmes, „mis muudab võimalikuks pooljuhtseadiste järgmiste põlvkondade õigeaegse ja tõhusa väljatöötamise”.
Finnish[fi]
LENS-hankkeessa osoitettiin onnistuneesti, että nykyistä upotuslitografiatekniikkaa voidaan soveltaa ainakin kahteen muuhun uudelle kehitystasolle vievään teknologiaan hyödyntämällä kaksoisvalotukseen tai viivanleveyden kaksinkertaistamiseen (pitch doubling) perustuvia tekniikoita. Samalla mahdollistettiin seuraavan sukupolven puolijohdekomponenttien oikea-aikainen ja taloudellisesti kannattava kehittäminen.
French[fr]
LENS a démontré avec succès l'applicabilité de la technologie actuelle de lithographie par immersion au moins jusqu'aux deux nœuds technologiques suivants en utilisant une double exposition et le doublage de pas, permettant ainsi le développement opportun et économiquement efficace des prochaines générations de dispositifs à semi-conducteurs.
Croatian[hr]
LENS je uspješno pokazao primjenjivost sadašnje tehnologije litografije uranjanjem za najmanje još dva tehnološka čvora koristeći tehnike dvostruke izloženosti ili udvostručavanja dubine, „omogućavajući pri tome pravovremeni i gospodarski učinkoviti razvoj narednih generacija poluvodičkih uređaja”.
Hungarian[hu]
A LENS sikeresen bizonyította a jelenlegi immerziós litográfia-technológia alkalmazhatóságát legalább két további technológiai határig a dupla expozíció, illetve kettős képalkotás technikájának segítségével, ezzel „lehetővé téve a félvezető eszközök következő generációjának gyors és gazdaságilag hatékony kifejlesztését.”
Italian[it]
Il progetto LENS ha dimostrato con successo l’applicabilità della tecnologia consolidata di litografia a immersione ad almeno altri due nodi tecnologici attraverso l’utilizzo di tecniche di doppia esposizione o doppio attacco “consentendo il tal modo lo sviluppo puntuale ed economicamente efficiente delle future generazioni di dispositivi a semiconduttore”.
Lithuanian[lt]
Projektu LENS sėkmingai įrodyta, kad tradicinę gramzdinimo litografijos technologiją galima taikyti dar bent dviem technologijos lustams gaminti, naudojant dvigubą ekspoziciją arba taikant žingsnio dvigubinimo metodus ir „taip sudarant sąlygas laiku ir ekonomiškai veiksmingai kurti naujos kartos puslaidininkinius prietaisus“.
Latvian[lv]
LENS izdevās parādīt vēsturiskās imersijas litogrāfijas tehnoloģijas izmantojamību vēl vismaz diviem tehnoloģijas papildu mezgliem, izmantojot dubulto ekspozīciju vai rakstzīmju iestatnes dublēšanas paņēmienus, "tādējādi nodrošinot nākamās paaudzes pusvadītāju ierīču laicīgu un ekonomiski izdevīgu izstrādi".
Maltese[mt]
Il-proġett LENS wera b'suċċess l-applikabbiltà tat-teknoloġija kkonsolidata tal-litografija b'immersjoni għal tal-anqas ċewġ nodi teknoloġiċi oħra bl-użu tekniki ta' espożizzjoni doppja jew li tirdoppja l-inċidenza, "b'hekk jippermetti l-iżvilupp effiċjenti fiż-żmien u fl-ekonomija tal-inġenji semikondutturi tal-ġenerazzjoni li jmiss".
Dutch[nl]
LENS heeft met succes aangetoond dat de gangbare immersielithografische technologie ten minste voor nog twee verdere technologieknooppunten kan worden toegepast door gebruik te maken van dubbelebelichtings- en pitchverdubbelingstechnieken, "hetgeen tijdige en economisch doelmatige ontwikkeling van de volgende generaties van halfgeleiderelementen mogelijk maakt".
Polish[pl]
W ramach projektu LENS z powodzeniem wykazano możliwość zastosowania obecnej technologii litografii zanurzeniowej do co najmniej dwóch innych węzłów technologicznych, wykorzystując podwójną ekspozycję lub techniki podwójnego tła „tym samym umożliwiając terminowe i oszczędne opracowywanie urządzeń półprzewodnikowych następnych generacji”.
Portuguese[pt]
O Projeto LENS demonstrou com sucesso a aplicabilidade da tecnologia atual de litografia por imersão pelo menos até mais dois nós tecnológicos utilizando técnicas de dupla exposição ou de duplicação de passo, «permitindo assim um desenvolvimento atempado e eficiente do ponto de vista económico da próxima geração de dispositivos semicondutores».
Romanian[ro]
LENS a demonstrat cu succes aplicabilitatea tehnologiei curente a litografiei cu imersie cel puțin pentru încă două noduri tehnologice, utilizând tehnici de dublă expunere sau de dublare a pasului (pitch), „permițând astfel dezvoltarea la timp și eficientă din punct de vedere economic a următoarelor generații de dispozitive semiconductoare”.
Slovak[sk]
Projektom LENS sa úspešne demonštrovala uplatniteľnosť technológie imerznej litografie minimálne pri dvoch ďalších technologických uzloch s využitím techniky dvojitej expozície alebo zdvojnásobenia intenzity, „čo umožňuje včasný a hospodársky efektívny vývoj nasledujúcej generácie polovodičových prvkov“.
Slovenian[sl]
Projekt LENS je uspešno prikazal, da se sedanja tehnologija potopne litografije s tehnikami dvojne osvetlitve ali podvojitve naklona lahko uporabi za najmanj dva dodatna tehnološka vozla, „s čimer je omogočen hiter in ekonomsko učinkovit razvoj naslednje generacije polprevodniških naprav“.
Swedish[sv]
Inom LENS demonstrerades framgångsrikt immersionslitografiteknikens användbarhet för ytterligare minst två generationer som använder dubbel exponering eller täthetsdubblerande teknik för att möjliggöra en läglig och ekonomiskt effektiv utveckling av nästa generations halvledarkomponenter.