Metadata
Author: patents-wipo
Data
German[de]
Eine Vorrichtung zur Erfassung elektrischer Eigenschaften einer Probe aus einem anregbaren Material, insbesondere eines Silizium-Wafers, umfasst eine Mikrowellen-Quelle (6) zur Erzeugung eines Mikrowellen-Feldes, ein an die Mikrowellen-Quelle (6) in Mikrowellen übertragender Weise gekoppeltes Resonanz-System (2), welches einen mindestens eine Öffnung (26) aufweisenden Mikrowellen-Resonator und eine benachbart zu der mindestens einen Öffnung angeordnete, zu untersuchende Probe, aufweist, mindestens eine in der Umgebung der Probe angeordnete Anregungs-Quelle (3) zur gesteuerten elektrischen Anregung der Probe und eine Mess-Einrichtung (5) zur Messung mindestens eines physikalischen Parameters des Resonanz-Systems (2).
English[en]
A device for detecting electrical properties of a sample composed of an excitable material, in particular of a silicon wafer, comprises a microwave source (6) for generating a microwave field, a resonance system (2), which is coupled to the microwave source (6) in a microwave-transmitting manner and which has a microwave resonator having at least one opening (26) and a sample to be examined and arranged adjacent to the at least one opening, at least one excitation source (3) arranged in the vicinity of the sample and serving for the controlled electrical excitation of the sample, and a measuring device (5) for measuring at least one physical parameter of the resonance system (2).
French[fr]
Le dispositif comprend une source (6) de micro-ondes qui forme un champ de micro-ondes, un système résonant (2) couplé à la source (6) de micro-ondes de manière à transmettre les micro-ondes et qui présente un résonateur de micro-ondes doté d'au moins une ouverture (26) et un échantillon à étudier disposé au voisinage de la ou des ouvertures, au moins une source d'excitation (3) disposée au voisinage de l'échantillon et qui excite électriquement de manière contrôlée l'échantillon et un dispositif de mesure (5) qui mesure au moins un paramètre physique du système résonant (2).