Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Process for production of functional device, process for production of ferroelectric material layer, process for production of field effect transistor, thin film transistor, field effect transistor, and piezoelectric inkjet head
French[fr]
Processus de production d'un dispositif fonctionnel, processus de production d'une couche de matériau ferroélectrique, processus de production d'un transistor à effet de champ, transistor en film mince, transistor à effet de champ et tête d'impression piézoélectrique à jet d'encre
Japanese[ja]
機能性デバイスの製造方法、強誘電体材料層の製造方法、電界効果トランジスタの製造方法、並びに薄膜トランジスタ、電界効果トランジスタ、及び圧電式インクジェットヘッド