Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Provided is an arc evaporation source, which is for melting and evaporating a cathode material by arc discharge in a vacuum and forming a film on the surface of a substrate and which is equipped with a cathode that is formed roughly in a disc shape and a magnetic field-generating means disposed on the back side of the cathode.
French[fr]
La présente invention concerne une source d’évaporation par arc, qui permet la fusion et l’évaporation d’un matériau de cathode par décharge d’arc sous vide et la formation d’un film sur la surface d’un substrat et qui est équipée d’une cathode qui est formée grossièrement en forme de disque et un moyen de génération de champ magnétique disposé sur le côté arrière de la cathode.
Japanese[ja]
真空中で、アーク放電によってカソード材料を溶解、蒸発させて、基材表面に成膜させるアーク蒸発源であって、略円板形状に形成されたカソードと、カソードの背面側に配置された磁界発生手段とを備え、磁界発生手段が、カソードの背面にカソードの放電面に対して20°~50°の方向に磁極が向けられて配置された少なくとも一つの永久磁石により、カソードの外周面においては基材方向に対して鋭角な磁力線、カソードの放電面の最外周部においては放電面に対してほぼ垂直な磁力線、カソードの放電面の外周面寄りの部分においてはカソードの中心方向に対して鋭角な磁力線が形成される磁界を発生させるように構成して、カソードを、外周部一杯まで利用可能とし、カソード材料の利用効率を飛躍的に高めることができるアーク蒸発源を提供する。