Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Said electron beam is incident onto the sample with a prescribed opening angle, and a lattice image is acquired with a second opening angle that is larger than a first opening angle, such that the beam diameter is a minimum on said sample.
French[fr]
Ledit faisceau d'électrons est incident sur l'échantillon avec un angle d'ouverture prescrit et une image de réseau est acquise avec un second angle d'ouverture, supérieur à un premier angle d'ouverture, de sorte que le diamètre du faisceau soit à un minimum sur ledit échantillon.
Japanese[ja]
この解決手段として、本発明は、電子線を発生する電子源と、前記電子線で前記試料上を走査するように偏向する偏向器と、前記試料上に前記電子線を集束する対物レンズと、前記試料を透過した散乱電子および非散乱電子を検出する検出器と、前記試料と前記検出器の間に配置され前記散乱電子及び前記非散乱電子の検出角を制御する絞りと、を備え、前記電子線は所定の開き角で試料に入射し、前記試料上でビーム径が最小となるような第一の開き角より大きい第二の開き角で格子像を取得することを特徴とする。