Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The stress free multilayer systems contain multilayer systems with two different material combinations of opposite stress, where both systems give good reflectivity at the design wavelengths.
French[fr]
L'invention concerne des systèmes compensateurs de contrainte qui réduisent/compensent les contraintes dans un élément multicouche sans perte de réflectivité, tout en réduisant l'épaisseur totale du film par rapport à la méthode antérieure de la couche intermédiaire.