Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In some embodiments, a dielectric window for an inductively coupled plasma reactor includes: a body including a first side, a second side opposite the first side, an edge, and a center, wherein the dielectric window has a dielectric coefficient that varies spatially.
French[fr]
Selon certains modes de réalisation, une fenêtre diélectrique pour un réacteur à plasma à couplage inductif comprend : un corps comportant un premier côté, un second côté opposé au premier côté, un bord et un centre, la fenêtre diélectrique présentant un coefficient diélectrique qui varie dans l'espace.