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Author: patents-wipo
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German[de]
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Untersuchen eines Meßobjektes (2, 12), bei dem das Meßobjekt (2, 12) mit einer Meßsonde (10) einer Rastersondenmeßeinrichtung rastersondenmikroskopisch untersucht wird und bei dem zumindest ein Teilabschnitt (1) des Meßobjektes (2, 12) in einem optischen Meßsystem zugeordneten Beobachtungsbereich optisch mit dem optischen Meßsystem untersucht wird, wobei eine durch die rastersondenmikroskopische Untersuchung verursachte Verlagerung des zumindest einen Teilabschnittes (1) des Meßobjektes (2, 12) aus dem Beobachtungsbereich heraus korrigiert wird, derart, daß der zumindest eine verlagerte Teilabschnitt (1) des Meßobjektes (2, 12) mit Hilfe einer Nachstelleinrichtung, welche die Verlagerung charakterisierende Datensignale verarbeitet, wieder in dem Beobachtungsbereich angeordnet wird.
English[en]
The invention relates to a method for examining a measurement object (2, 12), in which the measurement object (2, 12) is examined by means of scanning probe microscopy using a measurement probe (10) of a scanning probe measurement device and in which at least one subsection (1) of the measurement object (2, 12) is optically examined, in an observation region associated with an optical measurement system, using the optical measurement system, wherein displacement of the at least one subsection (1) of the measurement object (2, 12) from the observation region, said displacement being caused by the examination by means of scanning probe microscopy, is corrected in such a manner that the at least one displaced subsection (1) of the measurement object (2, 12) is arranged in the observation region again with the aid of an adjusting device which processes data signals which characterize the displacement.
French[fr]
L'invention concerne un procédé d'analyse d'un objet à mesurer (2, 12), procédé dans lequel l'objet à mesurer (2, 12) est analysé par microscopie à sonde à balayage, au moyen d'une sonde de mesure (10) d'un dispositif de mesure à sonde à balayage, et dans lequel au moins une section partielle (1) de l'objet à mesurer (2, 12) est analysée optiquement, dans un domaine d'observation associé à un système de mesure optique, au moyen dudit système de mesure optique, caractérisé en ce qu'un déplacement, dû à l'analyse par microscopie à sonde à balayage, d'au moins une section partielle (1) de l'objet à mesurer (2, 12) en dehors du domaine d'observation, est corrigé de telle façon qu'au moins une section partielle déplacée (1) de l'objet à mesurer (2, 12) est disposée, par l'intermédiaire d'un dispositif de rajustement qui traite les signaux de données caractérisant le déplacement, de nouveau dans le domaine d'observation.