Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In said atomic step-and-terrace structure, the arithmetical mean deviation of profile of the front edge of each atomic step is at most 20% of the height of said atomic step.
French[fr]
Dans ladite structure en gradins et terrasse atomiques, la déviation moyenne arithmétique de profil de la bordure avant de chaque gradin atomique est d'au plus 20 % de la hauteur dudit gradin atomique.
Japanese[ja]
本発明は、結晶構造に由来する原子ステップとテラスとからなる原子ステップ・テラス構造を有する主面を備え、前記原子ステップ・テラス構造において、前記原子ステップのフロント端線部の平均線粗さが、前記原子ステップの高さに対して20%以下の割合である、炭化ケイ素単結晶基板に関する。