Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A two-direction shape-memory alloy thin film actuator is formed by a monocrystal shape-memory alloy thin film which is formed substantially into a single layer while having a residual stress upon film formation and operates at a room temperature or above without requiring application of a particular bias force.
French[fr]
L'invention concerne un actionneur bidirectionnel à film mince en alliage à mémoire de forme, lequel actionneur est formé par un film mince en alliage à mémoire de forme monocristallin qui est formé sensiblement en une seule couche, tout en ayant une contrainte résiduelle lors de la formation de film, et fonctionne à température ambiante ou au-dessus sans nécessiter l'application d'une force de sollicitation particulière.
Japanese[ja]
2方向性形状記憶合金薄膜アクチュエータは、結晶性の形状記憶合金薄膜からなり、成膜時の残留応力を有したまま実質的に単層化されて形成され、室温以上の温度で作動し、特段のバイアス力付与が不要である。