Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Radial multipolar type layout lens, and charged particle optical system device using the lens
French[fr]
Lentille d'agencement de type multipolaire radiale, et dispositif de système optique à particules chargées utilisant la lentille
Japanese[ja]
動径多極子型配置レンズ及びそれを用いた荷電粒子光学系装置