Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Weiterhin wurden Elektronenstrahllithografie und Nanoimprintlithografie für die Bewertung der Größenreduzierung und Verbesserung des Durchsatzes genutzt.
English[en]
On the other hand, electron beam lithography and nano-imprint lithography were adopted for assessing reduction in dimensions and increase in throughput.
Spanish[es]
Por otra parte, se aplicó la litografía por haz de electrones y por nanoimpresión a fin de evaluar la reducción de dimensiones y el aumento de rendimiento.
French[fr]
D'autre part, on a eu recours à la lithographie à faisceau d'électrons et à la lithographie à nano-impression pour évaluer la diminution des dimensions et l'augmentation de rendement.
Italian[it]
Per la valutazione della riduzione delle dimensioni e l'aumento del throughput, però, è stata adottata la litografia a fascio di elettroni e la litografia NIL (Nano-Imprint Lithography).
Polish[pl]
Z drugiej strony, w celu oceny możliwości zmniejszenia wymiarów i zwiększenia przepustowości zastosowano litografię z wiązką elektronów i litografię z nanoszeniem w skali nano.