Metadata
Author: patents-wipo
Data
German[de]
Die Aufhängungen (7) der beweglichen Struktur (8) haben bevorzugt ein großes Verhältnis von Höhe zu deren Breite, wodurch das bewegliche Gate (8) sich bevorzugt in der Waferebene bewegen kann (15).
English[en]
The flexible suspension elements (7) of the mobile structure (8) preferably have a large ratio in terms of height to weight, whereby the mobile gate (8) can preferably be displaced on the wafer plane (15).
French[fr]
Les suspensions (7) de la structure mobile (8) présentent de préférence un grand rapport hauteur/largeur, ce qui permet à la grille mobile (8) de se déplacer de préférence dans le plan de la tranche.