Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
By configuring a transparent sheet including an optical fiber cable and a polishing end point detecting apparatus using the same according to the present invention, there is no interference on an optical path, articles of consumption can be easily changed according to a simple configuration of a CMP device, a situation in which the accuracy of detection is degraded is not generated although air gaps, slurry leakages, or vapor problems are generated because the problems exert no influence upon the light detector, and a polishing end point during a CMP process can be conveniently and precisely detected.
French[fr]
Par la configuration d'une feuille transparente comprenant un câble de fibre optique et un appareil de détection d'une limite de polissage l'utilisant selon la présente invention, il n'existe pas d'interférence sur un trajet optique, des articles de consommation peuvent être facilement changés selon une configuration simple du dispositif CMP, une situation dans laquelle la précision de détection est dégradée ne se produit pas bien que des lames d'air, des fuites de bouillies ou des problèmes de vapeur soient générés du fait que les problèmes n'exercent pas d'influence sur le détecteur de lumière, et une limite de polissage au cours d'un procédé CMP peut être détectée de façon pratique et précise.
Korean[ko]
본 발명과 같이 광섬유케이블이 포함된 투과성시트 및 이를 포함하는 연마종말점 검출장치를 구성함으로써, 광 경로에 간섭됨이 없고, 간편한 CMP장치구성에 따른 소모품의 교체가 용이하며, 간극(air gap), 슬러리 누출 및 수증기 문제가 발생되더라도 광검출기에 영향을 받지 않아 검출 정밀도가 저하되는 일이 발생되지 않으며, CMP공정과정에서 연마종결점을 간편하고 정밀하게 검출할 수 있게 된다.