Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A signal processing unit (21) of a charged particle microscope calculates a degradation function (H (s)) of an image, on the basis of detection signals (11) obtained by conducting scanning with charged particle beams (2) having two types of scanning speeds, a scanning speed within the bandwidths of a detector (12) and amplifying circuits at a subsequent stage of the detector, and a scanning speed exceeding the upper limit of the bandwidths.
French[fr]
L'invention concerne une unité de traitement de signal (21) d'un microscope à particules chargées qui calcule une fonction de dégradation (H (s)) d'une image en se basant sur des signaux de détection (11) obtenus en effectuant un balayage avec des faisceaux de particules chargées (2) possédant deux types de vitesse de balayage, une vitesse de balayage à l'intérieur des largeurs de bande d'un détecteur (12) et des circuits d'amplification à un étage suivant du détecteur, et une vitesse de balayage qui dépasse la limite supérieure des largeurs de bande.
Japanese[ja]
本発明の電子顕微鏡の信号処理部(21)は、検出器(12)及び前記検出器後段の増幅回路の帯域幅内の走査速度と、前記帯域幅の上限を超える走査速度という二種類の走査速度で荷電粒子線(2)を走査して得られた検出信号(11)に基づき、画像の劣化関数(H(s))を算出する。