Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Disclosed is a coolant injection device used in a wire saw apparatus.
French[fr]
L'invention concerne un dispositif d'injection d'un liquide de refroidissement utilisé dans une scie à fil.
Korean[ko]
본 발명은 잉곳을 웨이퍼 크기로 절단하는 와이어 소우 장치에서 이중으로 이루어진 관을 통하여 쿨란트가 분사되도록 설계되어 균일한 냉각을 실현함으로써 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있는 쿨란트 분사장치에 관한 것이다.